| 蒸發(fā)鍍膜機(jī)
| 產(chǎn)品描述： |
TEMD600電子束多功能蒸發(fā)鍍膜機(jī)系統(tǒng)具有真空度高、抽速快、基片裝卸方便的特點(diǎn)。配備1套 E型電子束蒸發(fā)源和2組電阻蒸發(fā)源、可選配在線膜厚檢測系統(tǒng)及離子源清洗及輔助沉積裝置。具有成膜均勻、放氣量小和溫度均勻的優(yōu)點(diǎn)。除了常規(guī)低熔點(diǎn)金屬的蒸鍍以外，TEMD600還可以蒸鍍難熔金屬和非金屬材料，如SiO2，AL2O3，Al、Au、Ag、Ni、Ti、Cr、Pt等可應(yīng)用于制備光學(xué)薄膜、導(dǎo)電薄膜，半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜等。
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| 類型： |
蒸發(fā)鍍膜機(jī)
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| 規(guī)格： |
MDTEMD600/1300/2100
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| 參數(shù)： |
1.真空腔室腔室尺寸Φ600， 2.真空系統(tǒng)分子泵+機(jī)械泵氣動(dòng)真空閥門，“3.極限真空空載優(yōu)于5.0×10-5Pa；4、配置電阻蒸發(fā)/電子束蒸發(fā)/有機(jī)材料蒸發(fā)；5、可配置無水無氧手套箱；
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