可實(shí)驗(yàn)?zāi)臃N類(lèi)

1.用于開(kāi)發(fā)納米級(jí)單層、多層及復(fù)合膜層；

2.用于制備金屬膜、合金膜、半導(dǎo)體膜、陶瓷膜、介質(zhì)膜、摻雜膜、超導(dǎo)膜、等，例：金、銀、鋁、銅、鎳、鉻、鎳鉻合金、氧化鈦、ITO、二氧化硅等；

3. 可用于多靶單獨(dú)濺射、依次濺射、共同濺射；