林賽斯薄膜綜合物性分析儀TFA概述
基本測量單元 :
測量室,真空泵,帶加熱器的支架,電子頰側裝置,集成鎖相放大器,3w方法分析軟件,計算機和應用軟件??蓽y以下物理參數:
l -熱傳導系數 (穩(wěn)態(tài)法/平面內方向)
r – 電阻率
s – 電導率
S – 賽貝克系數
e – 發(fā)射率
cp – 比熱容
磁測量單元:
可根據需求選擇集成式電磁鐵,可測物理參數如下:
AH – 霍爾常數
μ –遷移率
n -載流子濃度
薄膜材料性能有別于塊體材料之處
– 因小尺寸和高縱橫比所導致的表面效應如:邊界散射和量子限域效應
林賽斯薄膜綜合物性分析儀TFA特點
★ 高效便捷的薄膜材料表征手段(nm到um薄膜測試)。
★ 不同溫度下的測量(-170 to 200℃<-可選300℃>)
★ 樣品易于制備和處理
★ 高的測量適應性 (樣品厚度,電阻率,沉積方式)
★ 一個樣品,一次同步測量即可獲得所有相關參數。
★ 適用于金屬、陶瓷及有機材料。